一种叠层线圈类器件的制作方法

摘要

一种叠层线圈类器件的制作方法，包括：1)制成陶瓷绝缘层薄片；2)将部分陶瓷绝缘层薄片制成带导电通孔的陶瓷绝缘层薄片；3)在所述陶瓷绝缘体薄片上设置线圈导体，形成带线圈导体的线圈层薄片；4)将所述陶瓷绝缘层薄片和所述带线圈导体的线圈层薄片按次序叠层切断使形成单位尺寸，从而得到叠层体。步骤3)中，将采用光刻法在所述陶瓷绝缘体薄片设定位置形成线圈形状的沟槽；采用将导电胶体填充在所述线圈形状的沟槽处，且导电胶体的厚度等于或略大于所述沟槽的深度，形成内部电极。本发明可以改善形成电极的沟槽形状并大幅地提高制作效率。