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基于光敏印章印刷的纸基微流控芯片制造方法

摘要

本发明公开了一种基于光敏印章印刷的纸基微流控芯片制造方法,包括(1)打印要加工的黑白底稿,打印完成后裁切出打印区域,获得光敏印章曝光用掩膜;(2)利用掩膜对光敏印章垫曝光,获得带有图案的光敏印章垫;(3)利用光敏印章垫印制纸基微流控芯片。本发明的基于光敏印章印刷的纸基微流控芯片制造方法,与传统方法相比,不需要洁净间的苛刻条件,不需要绝对平整的表面、不需要昂贵的光刻技术,具有操作灵活方便等优点,且加工精度高。

著录项

  • 公开/公告号CN104437689B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2016-03-02

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 浙江大学;

    申请/专利号CN201410673498.8

  • 发明设计人 贺永;吴燕;傅建中;肖箫;

    申请日2014-11-21

  • 分类号B01L3/00(20060101);G03F7/00(20060101);

  • 代理机构33224 杭州天勤知识产权代理有限公司;

  • 代理人胡红娟

  • 地址 310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号

  • 入库时间 2022-08-23 09:36:21

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-03-02

    授权

    授权

  • 2015-04-22

    实质审查的生效 IPC(主分类):B01L3/00 申请日:20141121

    实质审查的生效

  • 2015-03-25

    公开

    公开

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