一种LED生产中排放废氨气现场回收再利用的方法

摘要

本发明公开了一种LED生产中排放废氨气现场回收再利用的方法，是将半导体发光二极管（简称LED）在氨气和三甲基镓气相沉积成GaN，生产过程中排出氨气、氮气、氢气混合气体中少量的氨气，在用户现场用气体压缩机增压到1.0MPa～3.0MPa后，在零下50℃～80℃冷冻的情况下，将混合气中的有害气体氨气液化，将混合气中无害的氮气、氢气进入放空系统，液化的液氨再经过精馏塔提纯，从而将本来LED企业在生产过程中排放的含氨废气变废为宝，混合气中氨气的回收率可达到99%以上，回收的氨气纯度可达到99.99999%，符合LED气相沉积的质量要求。