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信息记录介质用玻璃基板的制造方法及磁盘的制造方法

摘要

一种经由使用含有氧化铈磨粒的浆料对玻璃圆板进行抛光的抛光工序来制造信息记录介质用玻璃基板的方法,该方法抑制氧化铈磨粒的残留,而且减少主表面的表面粗糙。本发明涉及一种信息记录介质用玻璃基板的制造方法,包括:对玻璃圆板进行研磨的研磨工序和然后使用氧化铈磨粒进行抛光的氧化铈抛光工序,其中,紧接在氧化铈抛光工序后,在对玻璃圆板进行干燥的干燥工序(a)之后或者在使用选自由硫酸和硝酸组成的组中的一种以上无机酸的浓度为55质量%以上、温度为30℃以下的第一清洗液对玻璃圆板进行清洗的清洗工序(b)之后,具有:使用硫酸的浓度为55~80质量%、过氧化氢的浓度为1~10质量%、温度为70℃以上的第二清洗液对玻璃圆板进行清洗的清洗工序(c)。

著录项

  • 公开/公告号CN102906814B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2016-03-02

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 旭硝子株式会社;

    申请/专利号CN201180025053.3

  • 申请日2011-05-18

  • 分类号

  • 代理机构中原信达知识产权代理有限责任公司;

  • 代理人王海川

  • 地址 日本东京

  • 入库时间 2022-08-23 09:36:03

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-06-08

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G11B5/84 授权公告日:20160302 终止日期:20170518 申请日:20110518

    专利权的终止

  • 2016-03-02

    授权

    授权

  • 2013-03-13

    实质审查的生效 IPC(主分类):G11B5/84 申请日:20110518

    实质审查的生效

  • 2013-01-30

    公开

    公开

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