一种像元结构及基于像元结构的非致冷红外焦平面探测器

摘要

本发明公开了一种像元结构及基于像元结构的非致冷红外焦平面探测器，其像元结构包括：硅衬底、吸收单元、导电单元及用于将辐射光束汇聚射入硅衬底的聚光单元。其中，聚光单元固定于硅衬底下表面；硅衬底上表面中心部位设置有透光区域，透光区域且同一面靠近透光区域的外围部位设置有读出电路；导电单元的一端与吸收单元电连接，另一端与读出电路的接触电极电连接。吸收单元通过导电单元悬浮于硅衬底上表面。同时，本发明通过将集成有上述像元结构的第一基板、带有空腔及通孔阵列的第二基板键合固定构成非致冷红外焦平面探测器，实现了填充因子高达90%～100%，且具有热导更低、响应速度更快、制作工艺更加简单的特点。