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公开/公告号CN103189991B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-02-17
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201180051105.4
发明设计人 考施·K·辛格;罗伯特·简·维瑟;巴斯卡·库马;
申请日2011-09-30
分类号H01L29/786(20060101);H01L21/336(20060101);G02F1/136(20060101);
代理机构11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 09:35:48
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-02-17
授权
2013-11-13
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L29/786 申请日:20110930
实质审查的生效
2013-07-03
公开
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