文摘
英文文摘
声明
第一章绪论
1.1研究背景
1.2国内外研究动态
1.3论文结构
第二章砷化镓材料辐照效应及低频噪声技术
2.1砷化镓材料辐照效应
2.1.1材料特性
2.1.2辐照损伤
2.2低频电噪声
2.2.1低频噪声基本知识
2.2.2低频噪声诊断半导体器件可靠性
2.3 PHEMT结构及其工作原理
2.3.1器件结构
2.3.2工作原理
第三章砷化镓材料辐照损伤表征参量
3.1辐照导致材料电参量退化机理
3.1.1辐照对迁移率的影响
3.1.2辐照对电子密度的影响
3.2电学参量辐照退化的理论分析
3.2.1漏电流退化规律
3.2.2跨导退化规律
3.2.3阈值电压退化规律
3.3电学参数辐照损伤表征模型
3.4噪声参量表征基础
3.4.1低频噪声的组成及来源
3.4.2辐照损伤对低频噪声的作用
3.5低频噪声辐照损伤表征模型
3.5.1噪声表征模型的建立
3.5.2噪声参量对辐照损伤的表征分析
3.6本章小结
第四章表征参量实验验证
4.1实验样品的选择及辐照条件
4.2测试系统
4.2.1电学参数测试系统
4.2.2低频噪声测试系统
4.3伽玛辐照实验结果
4.3.1辐照前后电参数的变化
4.3.2辐照前后低频噪声的变化
4.4理论模型验证及讨论
4.4.1电学表征参量验证及讨论
4.4.2噪声表征参量验证及讨论
4.5表征参量的分析及评价
4.5.1噪声表征参量与电学表征参量的相关性
4.5.2噪声表征参量与电学表征参量对比
第五章结论
5.1论文结论
5.2展望
5.2.1本研究工作的展望
5.2.2噪声表征化合物半导体辐照损伤的可行性
致谢
参考文献
作者在读研期间的成果