用于相对于基底定位和/或压制平面部件的装置及用于相对于基底定位拾取工具的方法

摘要

一种用于抵靠基底(3)压制平面部件(2)、优选为用在芯片焊接机上的装置，其具有工具架(4)，拾取工具(5)设置在工具架上，优选为能够沿多自由度运动。此拾取工具通过能够被加载以压缩空气的至少一个空气轴承(6，7，8)直接或间接地安装在工具架上，其中，处于无压状态下的空气轴承上的安装位置能够被预应力所固定。对于空气轴承，可使用枢转的空气轴承和/或旋转的空气轴承。利用此类装置，在生产过程条件下能够将拾取工具最佳地定位在基底上。定位在空气轴承致动情况下进行，其中，位置一旦被采用，就通过可选地阻滞空气轴承来保持该位置。