公开/公告号CN103620730B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-02-24
原文格式PDF
申请/专利权人 瓦里安半导体设备公司;
申请/专利号CN201280027207.7
申请日2012-04-26
分类号H01J37/32(20060101);
代理机构11205 北京同立钧成知识产权代理有限公司;
代理人臧建明
地址 美国麻萨诸塞州格洛斯特郡都利路35号
入库时间 2022-08-23 09:35:39
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-02-24
授权
授权
2014-04-02
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/32 申请日:20120426
实质审查的生效
2014-03-05
公开
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机译: 控制抗蚀剂特征的临界尺寸和粗糙度的方法和系统
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