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用于处理物体的设备,尤其用于处理由聚合体制成的物体的表面的设备

摘要

本发明涉及一种用于处理物体的设备,所述物体例如是由聚合物制成的用于机动车前灯的物体。所述设备包括:用于容纳物体(22)的真空室(12);用于将真空室(12)置于真空中的装置(24);和用于处理物体(22)的离子轰击装置(44),所述离子轰击装置(44)包括离子发生器(46)和用于发射离子束的至少一个离子施加器(48)。该设备还包括:第一气锁(36);用于在真空室(12)与第一气锁(36)之间建立选择性连通的装置(40);和用于将第一气锁(36)置于真空中的装置(24)。离子轰击装置(44)布置在真空室(12)的外面。离子施加器(48)容纳在第一气锁(36)内部。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-09-04

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C14/56 授权公告日:20160217 终止日期:20170919 申请日:20110919

    专利权的终止

  • 2016-02-17

    授权

    授权

  • 2013-10-16

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/56 申请日:20110919

    实质审查的生效

  • 2013-05-22

    公开

    公开

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