一种偏心自转式气压施力大口径保形抛光装置

摘要

本发明公开了属于超精密光学表面加工领域的一种偏心自转式气压施力大口径保形抛光装置。包括电机、旋转接头、套筒、主轴、活塞、球头、抛光盘、卡圈、非牛顿流体、保形膜；抛光盘采用偏心自转式结构，能够产生具有中心峰值的类高斯去除函数；气体通过旋转接头、中空的主轴，进入主轴末端的气缸，推动活塞对抛光盘施加确定性的压力；非球面的加工过程中，在抛光盘下表面安装的非牛顿流体能够根据当前接触区域的面形实时的变形，保证聚氨酯与非球面表面紧密贴合，产生稳定的去除函数；本发明适用于大口径非球面光学元件的超精密表面加工。