一种刚性偏心传动公自转气压施力数控抛光装置

摘要

本发明公开了属于超精密光学表面加工领域的一种刚性偏心传动公自转气压施力数控抛光装置。包括电机、固定架、基座、带轮、皮带、万向节、气动旋转接头、自转轴、自转传递杆、公转块、燕尾滑块、燕尾槽、气缸、球头、抛光盘；工作时，通过调节燕尾滑块在燕尾槽中的位置来改变自转轴的偏心量；自转电机与自转轴通过可伸缩的万向节连接，实现自转运动的刚性传递；一定气压的气体依次通过气动旋转接头、中空的自转传递杆、中空的自转轴，进入气缸，对抛光盘施加确定的压力，最终实现对光学元件的确定性加工。本发明适用于大口径光学元件的超精密表面加工。