首页> 中国专利> 用于ZnO膜、纳米结构和体单晶的水性合成的低温连续循环反应器

用于ZnO膜、纳米结构和体单晶的水性合成的低温连续循环反应器

摘要

本发明涉及合成ZnO的方法,所述方法包含使经ZnO饱和的生长溶液在含有衬底或晶种的较温热沉积区与含有ZnO源材料的较冷溶解区之间连续循环。

著录项

  • 公开/公告号CN102362335B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2016-02-17

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 加利福尼亚大学董事会;

    申请/专利号CN201080013116.9

  • 申请日2010-04-15

  • 分类号H01L21/20(20060101);B01J23/06(20060101);

  • 代理机构11287 北京律盟知识产权代理有限责任公司;

  • 代理人章蕾

  • 地址 美国加利福尼亚州

  • 入库时间 2022-08-23 09:35:07

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-02-17

    授权

    授权

  • 2012-06-06

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/20 申请日:20100415

    实质审查的生效

  • 2012-02-22

    公开

    公开

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