基于边缘积分的多维电子束能量密度的测定方法及系统

摘要

本发明提供一种基于边缘积分的多维电子束能量密度的测定方法及系统，该方法包括：波形发生器接收指令信号，根据指令信号输出波形，指令信号中预先设定了波形的偏转速率以及维度；偏转装置根据波形将被测电子装置输出的电子束进行偏转；屏蔽环屏蔽电子束；屏蔽环的孔填充的能量吸收部件吸收电子束；传感器感应通过环形沟槽的电子束，得到电子束的模拟电压信号，环形沟槽设置在屏蔽环上且与屏蔽环为同心圆；数据采集器采集模拟电压信号，得到离散电压信号，并将离散电压信号发送至数据处理系统；数据处理系统对所述的离散电压信号进行反演，得到电子束的三维重构图。实现了对大功率电子束束流及其他带电粒子的能量分布进行高精度测定。