消除MEMS设备信号的正交误差的方法、装置和系统

摘要

在某些示例中，一种正交消除装置可包括：驱动电荷放大器，其被配置成耦合到MEMS设备的检测质量块，并且提供振荡运动信息；第一传感电荷放大器，其被配置成耦合到所述检测质量块，并且提供所述MEMS设备的第一移动的第一传感信息；第一可编程放大器，其被配置成接收所述振荡运动信息，并且提供经放大的振荡运动信息；第一加法器，其被配置成使用所述第一传感信息和所述经放大的振荡运动信息来消除所述第一传感信息的正交误差，以提供经正交校正的第一传感信息；移相器，其被配置成接收所述振荡运动信息，并且提供载波信息；以及第一乘法器，其被配置成使用所述经正交校正的第一传感信息和所述载波信息提供经解调的第一传感信息。