公开/公告号CN103096959B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-02-03
原文格式PDF
申请/专利权人 皇家飞利浦电子股份有限公司;
申请/专利号CN201180043142.0
发明设计人 D·E·冯霍伦;A·K·维斯瓦纳特;
申请日2011-09-14
分类号
代理机构永新专利商标代理有限公司;
代理人蔡洪贵
地址 荷兰艾恩德霍芬
入库时间 2022-08-23 09:34:43
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-02-03
授权
授权
2013-11-06
实质审查的生效 IPC(主分类):A61M15/00 申请日:20110914
实质审查的生效
2013-05-08
公开
公开
机译: 用于涂覆装置的基板保持装置包括回火装置和具有内部腔室系统的保持器,该内部腔室系统具有腔室区域,该腔室区域包含在部分区域蒸发并在另一区域冷凝的流体。
机译: 控制系统包括控制阀和气动调节器,该调节器包括两个由膜片隔开的压力腔,气体流量由阀锥调节,一个腔中的压力保持恒定,而另一个腔中的压力变化
机译: 带有阀的保持腔,包括阀保持系统