法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-04-20
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03B21/20 授权公告日:20160120 终止日期:20170411 申请日:20140411
专利权的终止
2016-01-20
授权
授权
2014-07-30
实质审查的生效 IPC(主分类):G03B21/20 申请日:20140411
实质审查的生效
2014-07-02
公开
公开
机译: 用于操作微光刻投影照明设备的方法,包括在投影物镜的物平面中布置掩模,其中在照明设备中调整的照明设置是动态变化的
机译: 用于照明设备的投影透镜和使用用于照明设备的投影透镜的照明设备
机译: 用于照明设备的投影透镜和使用用于照明设备的投影透镜的照明设备