在石英基片上沉积金刚石膜的方法

摘要

本申请公开了一种在石英基片上制备金刚石膜的方法，包括石英基片表面的清洗制备、二氧化硅溶胶的制备、石英基片上制备单层二氧化硅薄膜、制备多层掺纳米金刚石的二氧化硅薄膜、酸刻蚀、基片表面的预处理、沉积金刚石膜步骤。本发明的方法较传统的金刚石表面图形化的优势在于薄膜附着力好，沉积质量高，使用寿命长，操作简单可行，该方法能够应用于各种光学器件，光学窗口等保护涂层。