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铜电镀溶液以及铜电镀的方法

摘要

一种包含具有-X-S-Y-结构的化合物和脂肪族半醛的铜电镀溶液,其中X和Y是相互独立地选自由氢、碳、硫、氮和氧组成的组中的原子,并且X和Y只有当它们是碳原子时才相同。通过使用该铜电镀溶液,可以形成良好填充的通孔而不恶化电镀的形貌。

著录项

  • 公开/公告号CN103173811B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2016-01-20

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 罗门哈斯电子材料有限公司;

    申请/专利号CN201210599267.8

  • 发明设计人 齐藤睦子;酒井诚;林慎二朗;

    申请日2012-12-24

  • 分类号

  • 代理机构上海专利商标事务所有限公司;

  • 代理人郭辉

  • 地址 美国马萨诸塞州

  • 入库时间 2022-08-23 09:33:36

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-01-20

    授权

    授权

  • 2013-07-24

    实质审查的生效 IPC(主分类):C25D3/38 申请日:20121224

    实质审查的生效

  • 2013-06-26

    公开

    公开

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