法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-01-13
授权
授权
2013-04-10
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/28 申请日:20110714
实质审查的生效
2013-03-13
公开
公开
机译: 具有共焦光学系统的扫描仪,用于生成由共焦光学系统提供的扫描仪的共焦光学系统的焦点位置数据的方法以及用于在由共焦光学系统提供的扫描仪中生成数字数据的方法
机译: 校准扫描电子显微镜中观察对比度的标准样品,以及使用扫描电子显微镜检查晶体基质的方法
机译: 扫描电子显微镜和扫描电子显微镜的对比度调整方法