一种电涡流传感器的温度漂移自动校正方法

摘要

本发明提供一种电涡流传感器的温度漂移自动校正方法，该方法是采用一定的阻抗测量电路同时获取探测线圈的等效电感和电阻，利用其电感和电阻随温度和被测量变化的关系，来消除温度变化的影响，提取出实际的被测量的变化信息。本发明由阻抗测量模块（4）和校正运算模块（5）组成的涡流传感器信号调理电路，实现了在获取被测量信息的同时，自动校正、消除了温度变化的影响。本发明进行温度漂移校正不增加额外的探头、线圈或温度传感器，温漂校正效果显著，而且具有适用范围广、结构简单、易于实现等诸多优点。采用本发明对单线圈的电涡流位移传感器探头进行温度漂移自动校正，其温漂系数一般可以从500nm/℃降低到了5nm/℃以下。