首页> 中国专利> 氧化锌前驱体和利用该前驱体沉积氧化锌类薄膜的方法

氧化锌前驱体和利用该前驱体沉积氧化锌类薄膜的方法

页面导航

摘要

一种用于氧化锌类薄膜沉积的氧化锌前驱体，其包含具有以下通式的二茂锌或其衍生物：

公开/公告号CN103122454B

专利类型发明专利
公开/公告日2015-12-02

原文格式PDF
申请/专利权人康宁精密素材株式会社;
展开▼

申请/专利号CN201210469711.4
发明设计人朴洙昊;金序炫;朴正佑;朴兑正;刘泳祚;尹根尚;崔殷豪;金荣云;金保京;申亨秀;尹承镐;李相度;李相益;任相俊;
展开▼

申请日2012-11-19
分类号
代理机构北京德琦知识产权代理有限公司;
代理人康泉
地址韩国忠清南道
入库时间 2022-08-23 09:32:33

1. 含有卤化烷基锌的氧化锌前驱体和利用该前驱体沉积氧化锌类薄膜的方法 [P] . 中国专利： CN103122453B . 2016.01.20
2. 氧化锌前驱体和利用该前驱体沉积氧化锌类薄膜的方法 [P] . 中国专利： CN103710680A . 2014-04-09
3. ZINC OXIDE PRECURSOR, AND METHOD FOR VAPOR DEPOSITION OF ZINC OXIDE THIN FILM USING THE SAME [P] . 日本专利： JP2013108178A . 2013-06-06

机译：氧化锌前驱体以及使用该氧化锌前驱体气相沉积氧化锌薄膜的方法
4. METHOD FOR MANUFACTURING ZINC OXIDE PRECURSOR, AND ZINC OXIDE PRECURSOR AND ZINC OXIDE THIN FILM OBTAINED THEREFROM [P] . 韩国专利： KR20140115933A . 2014-10-01

机译：制备氧化锌前驱体的方法以及获得的氧化锌前驱体和氧化锌薄膜的制造方法
5. METHOD FOR MANUFACTURING ZINC OXIDE PRECURSOR, ZINC OXIDE PRECURSOR OBTAINED THEREBY, AND ZINC OXIDE THIN FILM [P] . 世界知识产权组织专利： WO2014148830A1 . 2014-09-25

机译：制造氧化锌前驱体，由此获得的氧化锌前驱体和氧化锌薄膜的方法