公开/公告号CN103400918B
专利类型发明专利
公开/公告日2015-12-02
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;
申请/专利号CN201310353537.1
申请日2013-08-14
分类号H01L33/38(20100101);H01L33/42(20100101);H01L33/20(20100101);H01L33/62(20100101);H01L33/44(20100101);H01L21/77(20060101);
代理机构22210 长春菁华专利商标代理事务所;
代理人陶尊新
地址 130033 吉林省长春市东南湖大路3888号
入库时间 2022-08-23 09:32:30
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-12-02
授权
授权
2013-12-18
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L33/38 申请日:20130814
实质审查的生效
2013-11-20
公开
公开
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