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热反应型抗蚀剂材料、使用它的热光刻用层压体以及使用它们的模具的制造方法

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摘要

本发明的热反应型抗蚀剂材料的特征在于，元素的氟化物的沸点在200℃以上。据此可以实现一种热反应型抗蚀剂材料，其对为形成槽深度深的图案用氟碳系气体进行的干蚀刻具有很高的耐性。

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2016-06-01

专利权的转移 IPC(主分类):G11B7/26 登记生效日:20160511 变更前: 变更后: 申请日:20091013

专利申请权、专利权的转移
2015-12-09

授权

授权
2013-12-04

专利申请权的转移 IPC(主分类):G11B7/26 变更前: 变更后: 登记生效日:20131113 申请日:20091013

专利申请权、专利权的转移
2013-07-17

实质审查的生效 IPC(主分类):G11B7/26 申请日:20091013

实质审查的生效
2013-06-12

公开

公开

1. 热反应型抗蚀剂材料、使用它的热光刻用层压体以及使用它们的模具的制造方法 [P] . 中国专利： CN103151053B . 2015.12.09
2. 热反应型抗蚀剂材料、使用它的热光刻用层压体以及使用它们的模具的制造方法 [P] . 中国专利： CN103123443B . 2014.11.26
3. Thermally reactive resist material, laminate for thermal lithography using the same, and method for producing a mold using them [P] . 日本专利： JP5600339B2 . 2014-10-01

机译：热反应型抗蚀剂材料，使用该材料的热平版印刷用层叠体以及使用它们的模具的制造方法
4. Thermally reactive resist material, laminate for thermal lithography using the same, and method for producing a mold using them [P] . 日本专利： JP5194129B2 . 2013-05-08

机译：热反应型抗蚀剂材料，使用该材料的热平版印刷用层叠体以及使用它们的模具的制造方法
5. Thermally reactive resist material, laminate for thermal lithography using the same, and method for producing a mold using them [P] . 日本专利： JPWO2010044400A1 . 2012-03-15

机译：热反应型抗蚀剂材料，使用该材料的热平版印刷用层叠体以及使用它们的模具的制造方法