公开/公告号CN103168338B
专利类型发明专利
公开/公告日2015-11-25
原文格式PDF
申请/专利权人 于利奇研究中心有限公司;
申请/专利号CN201180050880.8
申请日2011-09-17
分类号
代理机构中国专利代理(香港)有限公司;
代理人杜荔南
地址 德国于利奇
入库时间 2022-08-23 09:32:04
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-09-03
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01J37/34 授权公告日:20151125 终止日期:20180917 申请日:20110917
专利权的终止
2015-11-25
授权
授权
2013-09-18
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/34 申请日:20110917
实质审查的生效
2013-06-19
公开
公开
机译: 大靶高压溅射的溅射源及溅射方法
机译: 由于靶材大而用于高压溅射的溅射源和溅射方法
机译: 由于靶材大而进行高压溅射的溅射源和溅射方法