一种自动对焦高精度大行程精密定位工作台

摘要

本发明公开了一种自动对焦高精度大行程精密定位工作台，包括电机、高精度滚珠丝杠、高精度滚珠丝杠下支承、支撑杆、压电陶瓷、三角式激光发射装置、高精度滚珠丝杠螺母、高精度滚珠丝杠上支承和台板。与现有技术相比，本发明在总体机械结构方面本技术采用了双联控制的方案使得平台具有在保证高精度的要求下同时还能有较低的成本，而且避免了直流电机在驱动时产生的震颤。本发明中利用的自动定位系统比现行技术更加稳定，不需要计算机的对比计算，尤其是本发明的结构简单、成本低、刚度高、可靠性高、使用方便，具有推广的价值。