微机电系统压力传感器及其制作方法、微机电系统

摘要

一种微机电系统压力传感器及其制作方法、微机电系统，该方法在图形化介电层以形成空腔的同时，在介电层内形成与空腔连通的沟槽，然后在介电层上形成用作电极的敏感薄膜、覆盖层，空腔及沟槽中至少空腔与敏感薄膜交叠：当空腔及沟槽中仅空腔与敏感薄膜交叠时，填充在沟槽内的覆盖层内部形成有由空洞构成的第一通道，其上方设置有与其连通的第二通道；当空腔及沟槽中空腔及沟槽均与敏感薄膜交叠时，与敏感薄膜交叠的沟槽上方设置有与其连通的第二通道，这样，当将传感器置于气压为1个标准大气压、温度为常温的环境中之后可使得空腔内的气压固定在1个标准大气压，进而能够使传感器在测量大气压力时具有较佳的线性度及较大的测量范围。