公开/公告号CN103346125B
专利类型发明专利
公开/公告日2015-11-25
原文格式PDF
申请/专利权人 上海华力微电子有限公司;
申请/专利号CN201310253193.7
申请日2013-06-24
分类号
代理机构上海申新律师事务所;
代理人竺路玲
地址 201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号
入库时间 2022-08-23 09:31:54
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-11-25
授权
授权
2013-11-06
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/8238 申请日:20130624
实质审查的生效
2013-10-09
公开
公开
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