公开/公告号CN102886973B
专利类型发明专利
公开/公告日2015-11-25
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料意大利有限公司;
申请/专利号CN201210188743.7
申请日2012-06-06
分类号B41F17/00(20060101);H01L21/677(20060101);H01L21/687(20060101);H01L21/67(20060101);
代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;
代理人侯颖媖
地址 意大利特雷维索
入库时间 2022-08-23 09:31:33
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-05-22
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B41F17/00 授权公告日:20151125 终止日期:20190606 申请日:20120606
专利权的终止
2015-11-25
授权
授权
2013-03-06
实质审查的生效 IPC(主分类):B41F17/00 申请日:20120606
实质审查的生效
2013-01-23
公开
公开
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