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用于制造碳纳米结构的装置和用于制造碳纳米结构的方法

摘要

可以获得用于制造碳纳米结构的装置和用于制造碳纳米结构的方法,该装置和方法能够实现增加碳纳米结构的长度和稳定碳纳米结构的形状。用于碳纳米结构的制造装置(1)包括:在其上生长碳纳米结构(20)的催化剂部件(4)、源气体供给单元(11)和源气体供给管(5)、线圈(7、8)以及加热器(6)。源气体供给单元(11)和源气体供给管(5)向催化剂部件(4)供给用于形成碳纳米结构(20)的碳。线圈(7、8)施加梯度磁场(例如,由磁通线(9、10)指示的会切磁场),梯度磁场的磁场强度从催化剂部件(4)的一个表面向与该一个表面相反的另一表面逐渐增加。加热器(6)加热催化剂部件(4)。

著录项

  • 公开/公告号CN103003196B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2015-11-25

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 住友电气工业株式会社;

    申请/专利号CN201280002033.9

  • 发明设计人 日方威;大久保总一郎;

    申请日2012-02-21

  • 分类号

  • 代理机构北京天昊联合知识产权代理有限公司;

  • 代理人顾红霞

  • 地址 日本大阪府

  • 入库时间 2022-08-23 09:31:21

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2015-11-25

    授权

    授权

  • 2014-01-29

    实质审查的生效 IPC(主分类):C01B31/02 申请日:20120221

    实质审查的生效

  • 2013-03-27

    公开

    公开

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