法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-10-28
授权
授权
2015-04-08
实质审查的生效 IPC(主分类):B23P19/10 申请日:20141029
实质审查的生效
2015-03-11
公开
公开
机译: 航空乘客桥的辅助支承装置和具有该辅助支承装置的航空乘客桥以及控制该航空乘客桥的方法
机译: 航空乘客桥的辅助支承装置和具有该辅助支承装置的航空乘客桥以及控制该航空乘客桥的方法
机译: 图案检查装置,图案位置测量装置,航空图像测量系统,用于测量航空图像的方法,图案位置修复装置,用于修复图案位置的方法,航空图像数据处理装置,用于处理航空图像数据的方法,图案曝光装置,用于曝光图案,制造掩模的方法以及掩模制造系统