加弧辉光离子渗金属技术及设备

摘要

本发明属于表面冶金范畴。它是利用稀薄气体中的辉光放电及溅射现象，在工件周围设置辅助源极，同时利用真空电弧放电现象，在容器壁上设置一个或多个阴极电弧靶，作为主金属源。在对工件施加负偏压作用下，工件升至高温，依靠欲渗金属离子的轰击与扩散，使工件表面获得具有特殊物理、化学、机械性的纯金属层、合金层、合金镀层及化合物渗、镀层。达到提高渗金属速度及质量，优化工件表面性能的目的。