表面流体液滴的非接触检测

摘要

本发明提供了用于检测衬底上的流体的系统。所述系统包括但不限于传感器板、第一电容传感器以及在其上将放置衬底的平台。所述第一电容传感器被安装在所述传感器板上。所述第一电容传感器具有用于发射信号的发射传感器焊盘、用于接收所述信号的接收传感器焊盘以及与接收传感器焊盘相连接的用于分析接收到的所述信号的模数转换器。所述平台离所述发射和接收传感器焊盘有第一距离。