基于小频差与光束分离的激光外差干涉测量方法与装置

摘要

基于小频差与光束分离的激光外差干涉测量方法与装置属于激光应用技术领域；发明方法采用了空间分离的参考光和测量光，同时，该方法产生了两个具有相反多普勒频移的干涉测量信号，并根据被测目标的运动方向和速度，选择性使用两测量信号来进行干涉测量；发明装置中，采用非偏振分光棱镜代替传统偏振分光棱镜，并在装置中加入两个光电探测器、两个相位计以及开关电路；本发明方法及装置消除了干涉仪中的频率混叠现象，提高了外差干涉测量的测量精度；同时解决了激光光源频差对测量速度限制的问题。