高精度双F－P角位移测量仪

摘要

高精度双F-P角位移测量仪，包括：带有驱动电源的调制光源，沿着调制光源发出的光束的前进方向上放置着准直物镜和反射镜，在该反射镜的反射光束前进方向上放置被测转动镜面，该被测转动镜面反射光方向上放置一分束镜，该分束镜的端口b出射光束方向上依次放置第一F-P干涉仪、第一透镜和第一光电转换元件，该第一光电转换元件经第一模数转换器与计算机相连，分束镜端口c出射光束方向依次放置第二F-P干涉仪、第二透镜和第二光电转换元件，第二光电转换元件经第二模数转换器与计算机的相连，分束镜端口d放置第三光电转换元件并经图像采集卡与计算机相连。本发明的测量分辨率达到了纳弧度量级。