首页> 中国专利> 一种剥离设备的剥离能力的评定方法及评定系统

一种剥离设备的剥离能力的评定方法及评定系统

摘要

本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种剥离设备的剥离能力的评定方法及评定系统,以解决现有技术中没有对剥离设备剥离能力进行评定的方法,无法监控剥离设备的剥离能力的问题。本发明采用利用剥离设备对涂覆有光刻胶的测试块进行光刻胶剥离处理,其中测试块上涂覆的光刻胶的固化程度值不同;对经过剥离处理后的测试块进行剥离效果检测,根据剥离效果检测结果,以及光刻胶固化程度值、剥离能力等级之间的对应关系,确定剥离设备的剥离能力等级;避免了现有技术中无法监控剥离设备的剥离能力的问题,实现了对剥离设备剥离能力的评定,以及对剥离设备的剥离能力进行监控。

著录项

  • 公开/公告号CN103258756B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2015-09-09

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 京东方科技集团股份有限公司;

    申请/专利号CN201310150238.8

  • 发明设计人 刘英伟;陈宁;

    申请日2013-04-26

  • 分类号

  • 代理机构北京同达信恒知识产权代理有限公司;

  • 代理人张恺宁

  • 地址 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

  • 入库时间 2022-08-23 09:29:18

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2015-09-09

    授权

    授权

  • 2013-09-18

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20130426

    实质审查的生效

  • 2013-08-21

    公开

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