PVD设备工艺控制方法和PVD设备工艺控制装置

摘要

本发明公开了一种PVD设备工艺控制方法和PVD设备工艺控制装置。该方法包括：步骤1，控制加热装置以第一设定功率对反应腔室进行加热；步骤2，对反应腔室的温度进行检测，得出反应腔室的当前腔室温度；步骤3，判断反应腔室的当前腔室温度是否大于第一设定温度；若是，则执行步骤4；否则，返回步骤1；步骤4，控制加热装置以第二设定功率对反应腔室进行加热，执行步骤5；步骤5，判断反应腔室的当前腔室温度是否小于第二设定温度；若是，则返回步骤1；否则，返回步骤4。本发明提供的技术方案避免了加热过程中加热装置频繁开启和关闭，从而提高了加热装置的使用寿命以及提高了加热效率和可靠性。