首页> 外国专利> PVD thickness control device

PVD thickness control device

机译:PVD厚度控制装置

摘要

The present invention relates to a method for coating a metal strip (10) with a metal substrate (12) in a strip coating system (1), the coating being carried out according to the principle of physical vapor deposition (PVD), the layer thickness is set via the parameters of strip speed and evaporation rate. According to the invention, when changing the layer thickness and/or the width of the metal strip 10, the evaporation rate and the strip speed are also changed simultaneously, whereby the layer thickness change can be implemented directly independently of the thermal evaporation process. .
机译:本发明涉及一种用条带涂层系统(1)中的金属基板(12)涂覆金属条(10)的方法,所述涂层根据物理气相沉积(PVD),层的原理进行 通过条带速度和蒸发速率的参数设定厚度。 根据本发明,当改变金属条10的层厚度和/或宽度时,蒸发速率和条带速度也同时改变,从而可以直接地独立于热蒸发过程来实现层厚度变化。 。

著录项

相似文献

  • 专利
  • 外文文献
  • 中文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号