用于改性聚合物膜表面相互作用的工艺和方法

摘要

本发明提供了一种聚合物膜表面相互作用性质的改性方法。在该方法中，聚合物载体目标物用化学组合物覆盖，该化学组合物包含可光聚合化合物、光引发剂或能够引发聚合的催化剂和半氟化分子。由此生产的聚合物模具含有半氟化部分，该半氟化部分主要位于图案化表面的表面和表面附近区域上。聚合物模具适合作为纳米刻印光刻工艺中具有改性性质的模板。