法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-08-24
专利实施许可合同备案的生效 IPC(主分类):C23C 14/06 合同备案号:2018990000194 让与人:北京大学 受让人:北京锐德康科技有限公司 发明名称:一种自支撑类金刚石纳米薄膜制备装置及薄膜制备方法 申请公布日:20140219 授权公告日:20150812 许可种类:独占许可 备案日期:20180730 申请日:20131106
专利实施许可合同备案的生效、变更及注销
2015-08-12
授权
授权
2015-08-12
授权
授权
2014-03-19
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/06 申请日:20131106
实质审查的生效
2014-03-19
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/06 申请日:20131106
实质审查的生效
2014-02-19
公开
公开
2014-02-19
公开
公开
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机译: 一种在基板上共沉积爆轰纳米金刚石和类金刚石碳的方法以及包括爆轰纳米金刚石和类金刚石碳的复合膜
机译: 微波等离子体产生装置和利用其的金刚石薄膜制备方法
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