用于自动确定最优参数化的散射测量模型的方法

摘要

提供了用于分析具有未知参数的样本衍射结构的散射测量模型优化参数的自动确定。预处理器根据多个浮动的模型参数，确定简化的模型参数集合，该简化的模型参数集合能够基于从关于每个参数的测得的光谱信息的雅克比矩阵中确定的用于每个参数的相对精度，合理地在散射测量模型中浮动。在考虑组合的参数间的相关性的情况下，确定用于每个参数的相对精度。