适于制造模板等光学配准载体的设备

摘要

一种适于制造诸如模板等光学配准载体的设备。设备包括用于所述光学配准载体的支撑件；至少第一和第二光源，所述第一和第二光源的光波长彼此不同；以及物镜，它位于所述光源和所述支撑件之间，可以相对所述光源移动。将一校正透镜安装在第一光源和物镜之间，校正透镜与物镜一起移动。当物镜和校正透镜相对光源作各种移动时，两个光源的焦点基本上重合。