深亚微米光学光刻设备制造技术研究

摘要

光学光刻在不断发展，促进了集成电路的制造，提高了其制造水平。光学光刻的分辨率在逐步提高，其设备面对着巨大的挑战。本文将对深亚微米光学光刻设备制造技术展开研究。