微细图案转印用模具的制造方法及使用该模具的衍射光栅的制造方法、以及具有该衍射光栅的有机EL元件的制造方法

摘要

一种模具的制造方法，包括：在基材10上涂布包含第一聚合物和第二聚合物的嵌段共聚物溶液30，使涂膜干燥后，在比嵌段共聚物的玻璃化转变温度高的温度下进行第一退火处理，通过蚀刻处理将第二聚合物除去而在基材上形成凹凸结构36，将凹凸结构36在比第一聚合物的玻璃化转变温度高的温度下进行第二退火处理，接着，在凹凸结构上形成种子层40，通过电铸在种子层40上层叠金属层50，将金属层50从基材上剥离。通过第二退火处理，将基材上的凹凸结构70良好地转印到金属层上。本发明提供适合制造衍射光栅等光学部件的微细图案转印用模具。