一种用于测量磁场方向的微机电系统磁场传感器

摘要

本发明公开了一种用于测量磁场方向的微机电系统磁场传感器，包括从下向上依次叠加设置的衬底、底电极层、牺牲层、金属层和氮化硅层，牺牲层的中部和金属层的中部均为空心，氮化硅层的中部为弯曲板，弯曲板的一侧设有向外延伸的凸板，金属层的顶面设有锚区，凸板与锚区固定连接，弯曲板位于金属层中部的上方；弯曲板的底面设置第一电容、第二电容和第三电容，弯曲板的顶面布设有第一电容引线、第二电容引线、第三电容引线和沿弯曲板边缘布设的金属线；金属线的两端分别与一个第四焊盘连接；底电极层与金属层连接；在氮化硅层的边部上方设置第五焊盘，金属层与第五焊盘连接。该磁场传感器结构简单，可以实现磁场方向以及幅度的测量。