一种PIII工艺流程控制和在线剂量、均匀性检测装置

摘要

本发明公开了一种PIII工艺流程控制和在线剂量、均匀性检测装置，属于PIII技术领域。该装置包括工作腔室、气源、功率源、偏压源、真空系统、偏压电极、冷却系统，还包括法拉第杯系统、信号检出系统和信号处理与控制系统。该装置能够实现在线检测PIII剂量和均匀性。