网状条纹结构YSZ基板为导电层的混成电位型NO₂传感器及制备方法

摘要

激光加工YSZ基板为导电层的混成电位型NO₂传感器及制备方法，属于气体传感器技术领域，依次由带有Pt加热电极的Al₂O₃陶瓷板、有网状条纹结构的YSZ基板、参考电极和敏感电极组成；参考电极为条状Pt，敏感电极为条状NiCr₂O₄，两电极对称地制备在YSZ基板上表面的两端，YSZ基板的下表面与Al₂O₃陶瓷板粘结在一起；网状条纹结构的条纹间距为130～240μm，深度10～25μm，单个条纹的宽度为50～80μm；在参考电极和敏感电极上制作有电极引线。该传感器主要用于汽车尾气的检测。YSZ基板表面的网状条纹结构提高待测气体与电解质的接触，增加反应活性位点，达到提高传感器灵敏度的目的。