将高斯光束整形为平顶光束的衍射光学元件及制备方法

摘要

本发明提出一种新的实现高斯转平顶的衍射光学元件，简称DOE，并提供了所述DOE的制备方法。在石英基片中心处制备不同形状、不同尺寸的凹槽或台阶，而后将DOE置于光路中的不同位置，与扩束准直镜以及聚焦透镜配合，实现平顶光束。本发明所涉及DOE具有以下几个突出优点：能量透过率高，对入射激光模式变化较不敏感，安装使用简单、灵活。