公开/公告号CN103344660B
专利类型发明专利
公开/公告日2015-07-08
原文格式PDF
申请/专利权人 上海华力微电子有限公司;
申请/专利号CN201310264774.0
申请日2013-06-27
分类号G01N23/225(20060101);H01L21/66(20060101);
代理机构31272 上海申新律师事务所;
代理人竺路玲
地址 201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号
入库时间 2022-08-23 09:27:12
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-07-08
授权
授权
2013-11-06
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 23/225 申请日:20130627
实质审查的生效
2013-10-09
公开
公开
机译: 电路图形缺陷检测装置,电路图形缺陷检测方法及其程序
机译: 电路图形缺陷检测装置,电路图形缺陷检测方法及其程序
机译: 使用扫描电子显微镜测量进行缺陷检测,分类和过程窗口控制