激光整形及波阵面控制用光学系统

摘要

本发明的一个实施方式所涉及的激光整形及波阵面控制用光学系统（1）具备：强度转换透镜（24），其将入射激光的强度分布转换并整形成所期望的强度分布；光调制元件（34），其调制来自于强度转换透镜（24）的射出激光且进行波阵面控制；聚光光学系统（36），其将来自于光调制元件（34）的输出激光聚光；及成像光学系统（30），其配置于光调制元件（34）与聚光光学系统（36）之间，在将来自于强度转换透镜（24）的射出激光的强度分布成所期望的强度分布的面（24x）与光调制元件（34）的调制面（34a）之间具有入射侧成像面，且在聚光光学系统（36）的瞳孔面（36a）具有射出侧成像面。